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棱鏡耦合測(cè)試儀測(cè)量原理及應(yīng)用領(lǐng)域
更新更新時(shí)間：2022-06-13 點(diǎn)擊次數(shù)：1021
棱鏡耦合測(cè)試儀主要用于電解質(zhì)和聚合物膜的厚度、折射率和波導(dǎo)參數(shù)的快速測(cè)量，適用于薄膜厚度在2-100µm的聚合物材料、硅基氧化膜、硅基玻璃膜，在干涉條紋產(chǎn)生的基礎(chǔ)上通過(guò)改變角度產(chǎn)生干涉條紋的方法。對(duì)于厚膜折射率的測(cè)量，單色光被直接照射到被測(cè)樣品上，這樣，從薄膜表面反射回來(lái)的光的干涉小值就會(huì)發(fā)生變化，光的入射角也會(huì)發(fā)生變化。
測(cè)量原理：
待測(cè)樣品通過(guò)一個(gè)空氣作用的耦合探頭與棱鏡基座接觸，在薄膜與棱鏡之間產(chǎn)生一個(gè)空氣狹縫。一束激光光束照射到棱鏡基座上，通常會(huì)在基座上全反射進(jìn)入光電探測(cè)器。在某一些入射角，稱(chēng)為模式角，光子向下穿過(guò)空氣狹縫進(jìn)入薄膜，進(jìn)入一種被引導(dǎo)的光傳播模式，使到達(dá)探測(cè)器的光強(qiáng)度大幅降低。
棱鏡鏡片的厚薄差較大，在焦度計(jì)上打點(diǎn)和檢測(cè)時(shí)需將棱鏡jian端稍抬起，使鏡片的前表面處于水平位置，因?yàn)槔忡R鏡片在磨邊裝配過(guò)程中。考慮到美觀等因素，尖邊位置往往在厚端的靠外處，也就是說(shuō)鏡片的外表面比里面更接近于水平線(xiàn)，因而在鏡片的視軸也更接近于外表面的光軸，而不是里表面的光軸，所以這個(gè)方向的度數(shù)應(yīng)是實(shí)際有效距離，也就是說(shuō)，焦距在這個(gè)方向的測(cè)量值為實(shí)際有效距離。
該儀器可測(cè)量薄膜/基底的類(lèi)型，硅襯底上幾乎任何透明或半透明材料的氧化物、氮化物、介質(zhì)、聚合物或薄膜?？蓽y(cè)量的薄膜/襯底類(lèi)型：氧化物、氮化物、介電材料、聚合物、或硅襯底上幾乎任何透明或半透明材料的薄膜。
棱鏡耦合測(cè)試儀主要應(yīng)用領(lǐng)域：
1、光波導(dǎo)器件；
2、激光晶體材料；
3、聚合物材料；
4、顯示技術(shù)材料；
5、光/磁存儲(chǔ)材料；
6、光學(xué)薄膜。
