單頻紫外激光器 IXION-193 SLM是單頻二管泵浦全固態(tài)激光器。用于光學(xué)計(jì)量、高功率ArF準(zhǔn)分子激光器的帶寬控制和193nm波長(zhǎng)的步進(jìn)校準(zhǔn)。光譜帶寬接近理論傅立葉變換限。中心波長(zhǎng)以0.01nm的度從190nm到194nm范圍可選。系統(tǒng)可選內(nèi)置高精度光譜儀，度可達(dá)1pm以保證對(duì)激光器調(diào)諧的zui大控制。
 

單頻紫外激光器 IXION-193 SLM典型參數(shù)

單頻紫外激光器 IXION-193 SLM特點(diǎn)
· 工業(yè)級(jí)的頻率轉(zhuǎn)換，密封封裝 
· 插槽安裝激光二管泵浦
· 優(yōu)異的TEM₀₀光束形貌
· 脈沖到脈沖之間波動(dòng)小
· 免維護(hù)與熱電溫控管理
· LabVIEW驅(qū)動(dòng)
· 內(nèi)置光譜儀用于波長(zhǎng)實(shí)時(shí)控制

單頻紫外激光器 IXION-193 SLM應(yīng)用    
· 193 nm波長(zhǎng)計(jì)量                                              
· 光譜儀校準(zhǔn)                                                     
· 干涉測(cè)量
· 準(zhǔn)分子激光器的種子注入
單頻紫外激光器 IXION-193 SLM
光譜帶寬


脈沖寬度


長(zhǎng)時(shí)間功率穩(wěn)定性

光束質(zhì)量