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微米尺度空間分辨率LIBS測試系統(tǒng)—MEEPLIBSMEEPLIBS可以在微米尺度上做空間分辨的元素分析,實現(xiàn)了與傳統(tǒng)的顯微鏡實現(xiàn)*結(jié)合,標準分析口徑大小為15微米和18微米(zui小可做到4微米),可在室溫大氣環(huán)境中測試,也可在特定的環(huán)境中測試。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體材料、面板材料的微米尺度空間分辨率的實時元素分析。 系統(tǒng)特點:光源:266nm紫外激光光源具有配衰減器的激光光束整形功能,激光功率軟件可調(diào)可實現(xiàn)探測系統(tǒng)的自動溫控系統(tǒng)中配置攝像機,用戶可實時觀測測試的樣品區(qū)域配置電動三維調(diào)節(jié)臺用來校準激光聚焦位置、提高實驗可重復(fù)性精度,可對樣品進行序列測量能分析測量包括質(zhì)量zui輕的所有元素無須樣品預(yù)處理,快速檢測
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