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高精度焦點分析儀-FSA充分考慮微加工激光的參數(shù)和微加工現(xiàn)場的光路結(jié)構(gòu)，整合激光 輸入準直基準，激光衰減模塊，高倍率、高保真、高損傷閾值放大光路，以 及高分辨率專業(yè)光斑分析儀。用戶只需將整體設備放置到場鏡 / 聚焦透鏡下， 簡單對準即可對加工激光的焦點光斑進行完整分析 , 而無需搭建繁瑣的光路。 系統(tǒng)采用緊湊型整體式設計，方便移動，可用于多個機臺靈活測試。